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為促進跨單位奈米技術連結與奈米國家型計畫管理，工研院於2002年成立奈米中心，目前已是工研院內80餘項跨領域奈米技術之規劃整合及技術連結單位，並負責奈米檢測與製程共同實驗室營運，支援各項奈米研發計畫及產學界服務工作，更扮演推動奈米技術產業化及國際接軌之角色。
奈米中心近年來完成多項重要任務，包括建置我國第一個奈米尺寸量測認證實驗室並通過TAF認證，可與國際實驗室認證聯盟(ILAC)相互承認，提供具國際公信力之檢測報告；亦主導我國奈米標章認證系統，使得奈米產品在市場有規範可循，消費者也有保障，至2010年6月底止，已有24類奈米產品，共467項。
在技術方面則持續精進奈米級之電鏡檢測、表面分析、薄膜製程、電子束微影、蝕刻製程等技術。藉由此類核心能力之建立與精進，每年提供政府及產學界300家次以上服務。這些努力成果使奈米中心在2010年獲得經濟部科技專案研發服務卓越獎。
為與國際接軌，奈米中心共同實驗室團隊自2005年起，連續五年獲得亞太經合組織(APEC)贊助，主導奈米尺寸/粒徑、薄膜厚度及機械特性等檢測之國際間實驗室能力比對，也被亞洲奈米論壇 (ANF)下的15個經濟體推派為代表，參與ISO/TC229會議共同製定奈米國際標準相關規範。
在奈米科技推廣方面，奈米中心自2006年開始每年與中興大學舉辦全國奈米創意競賽，鼓勵由奈米新現象發想，進而實現成為可商業化的產品。奈米中心也建立奈米知識結構化資料庫，系統化整理奈米新現象、新知識，發掘新的創意以進行原型產品研發，將技術落實於應用。在2009年日本奈米展上以晝光導光板、一氧化碳氣體檢測器、超疏水膜等多項原型產品創造展場互動效果，使以ITRI為主的台灣代表團在23 國、 500多家參展廠商中獲得特別獎。
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