技術簡介
工研院VUV臭氧生成模組。
臭氧的應用範圍非常廣泛，包含：汙水處理、飲用水消毒、食品加工殺菌、食品貯藏、醫療衛生以及空間消毒等。臭氧的產生方法包括：高壓放電法、UV光化學法等。然而，傳統臭氧產生方法有：能耗大、易生NOx毒性污染物，或使用含汞光源、低臭氧產率等缺點，尚無法符合國際間積極追求無毒與節能的環保需求。
特色與創新
本VUV臭氧產生技術以自開發之172nm氙氣準分子光源進行臭氧生成，該氙氣準分子光源不含汞、能量密度高、具有特殊內外電極及燈體設計，所製作的VUV臭氧反應器具有氣體特殊流道設計，可瞬間生成臭氧，並具有高純度及高臭氧產率等優點。
本技術以高能量UV光源應用於臭氧之生成，在國際上屬首創商品，並已完成多項專利申請與佈局。該172nm UV準分子燈係為無汞光源，且臭氧生成製程中無 NO<sub>x</sub>等有害氣體生成，為一新式環保型臭氧產生技術。
應用與效益
本技術產品因具有突破性設計，使設備得以簡化，已達到高性能（低耗能且高產率）、低成本與小型化的優點，可廣泛使用於各式殺菌及分解有機物用途。目前，已應用於衣櫃、鞋櫃、寵物間等之空間殺菌除臭，以及溫室植栽的空間殺菌、病害防治、食品加工以及醫療產業（例如：保鮮防霉、環境殺菌）等方面。
工研院VUV臭氧產生器。