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工業技術研究院

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長度量測標準件

技術簡介

階高標準件(5μm<...(詳如圖說)
階高標準件(5μm<H<200μm)。
  • 階高標準件:高度為10 nm~200 μm(均勻性<4%,準確度<5 nm~0.1%)。
  • 表粗標準件:Ra為5 nm~10 μm(準確度<5nm~0.1%)。
  • 線距標準件:線距為 ≧ 2 μm(準確度<0.1%)。
  • 影像標準件:範圍50 mm×50 mm~400 mm×400 mm(客製化)。
階高標準件(10nm<H<30μm)。
階高標準件(10nm<H<30μm)。
表粗標準件(5nm<H<100μm)。
表粗標準件(5 nm<H<100 μm)。
線距標準件(pitch>2μm)。
線距標準件(pitch>2 μm)。
影像標準件(50mm×50 mm~400mm×400mm)。
影像標準件(50 mm×50 mm~400 mm×400 mm)。