長度量測標準件-智慧製造(舊)-永續環境-尖端科技-工業技術研究院

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尖端科技

長度量測標準件

技術簡介

階高標準件（5μm＜...(詳如圖說) — 階高標準件（5μm＜H＜200μm）。

階高標準件：高度為10 nm～200 μm（均勻性＜4％，準確度＜5 nm～0.1％）。
表粗標準件：Ra為5 nm～10 μm（準確度＜5nm～0.1％）。
線距標準件：線距為 ≧ 2 μm（準確度＜0.1％）。
影像標準件：範圍50 mm×50 mm～400 mm×400 mm（客製化）。

階高標準件（10nm＜H＜30μm）。

表粗標準件（5nm＜H＜100μm）。 — 表粗標準件（5 nm＜H＜100 μm）。

線距標準件（pitch＞2μm）。 — 線距標準件（pitch＞2 μm）。

影像標準件（50mm×50 mm～400mm×400mm）。 — 影像標準件（50 mm×50 mm～400 mm×400 mm）。