技術簡介
本技術為可加工直徑 650mm、不規則形狀元件之五軸（X、Y、Z、B、C）超精密加工設備系統，加工規格為形狀準確度（PV）≦ 0.125μm、表面粗糙度（Ra）≦ 1.5nm，且結合光學模擬設計、製作及檢測能量，可提供一條龍的元件與模組製造服務。
應用與效益
本技術平台可應用於顯示光學系統、成像光學系統、照明光學系統、機汽車工業、航太工業、半導體IC封裝、半導體設備等核心組件加工與製造。
五軸超精密加工設備系統 規格
◆ 車床加工
◆ 五軸行程（X／Y／Z／B／C）
◆ 直徑 650mm 超大加工尺寸
◆ 形狀精度（PV）≦ 0.125μm
◆ 表面粗糙度（Ra）≦ 1.5nm
微陣列透視光學膜仁 規格
◆ 尺寸：20.2mm×20.2mm
◆ R＝0.116274mm
◆ K＝-2.57352
◆ Pitch＝0.2mm
◆ 形狀精度（PV）：0.88μm
◆ 表面粗糙度（Ra）：18.8nm