技術簡介
SECS／GEM通訊協定。
隨著全球各大半導體製造廠爭相擴大投資，半導體設備市場以年增44.7的速度高度成長，完整的工業物聯網（IIOT）與服務在地化需求迫切。國內半導體大廠亦要求廠區設備（Chiller、Dry Pumps等）均需符合SECS／GEM（SEMI Equipment Communication Standard／Generic Equipment Model）規範。工研院提供「SECS／GEM通訊協定」，此為半導體設備和上層（host）溝通用的通訊協定／介面，在自動化的晶圓廠，透過此介面可以對設備下達開始或停止的指令、蒐集量測資料、改變製程參數和選擇配方。
特色與創新
除半導體設備外，更可應用於PCB、LED、TFT等產業，此技術提供晶圓廠（FAB）所需通訊產品及工具的完整解決方案，通訊函式庫包括針對既存設備自動化的產品方案AnyGate、新設備及建廠自動化的方案SECS／GEM。
應用與效益
大幅提升客戶機台連線自動化能力，協助國內各設備商建立半導體設備通訊能力。此外，亦成功開發符合SEMI PCBECI（Printed Circuit Board Equipment Communication Interface）標準閘道器（Gateway）軟體之ECIHUB。