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工業技術研究院

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薄型複合式感測模組

技術簡介

超薄型力感測模組具備溫度與力量感測。
超薄型力感測模組具備溫度與力量感測。

薄型複合式感測模組採用一體式結構設計與高剛性材料,可達到薄型化尺寸,高線性度訊號輸出與高過負載設計(Static overload)。感測模組並具備力量與溫度感測,可滿足工業用機械設備之狀態感測需求。

特色與創新

薄型複合式感測模組可直接整合於滾珠螺桿中,直接量測滾珠螺桿的預壓力與溫度,達到螺桿健康狀態診斷與維修保養提醒之功能。

技術特色
  • 同時感測力量與溫度。
  • 薄型化結構設計。
  • IP65防水防塵等級。
  • 具備螺桿健康診斷功能。
技術規格
  • Thickness: 9mm。
  • Force Range: 0~2000 N。
  • Overload > 200%。
  • Temperature Range: 0~100℃。

應用與效益

本技術可應用於滾珠螺桿的預應偵測、定位平台預壓軸承,馬達止推軸承溫度與預壓,主軸止推軸承溫度與預壓工件夾頭力附載感測,以及化學機械研磨壓力偵測作為回授控制等。