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工業技術研究院

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奈米電子實驗室

電光所奈米電子實驗室提供高水準的無塵室場域,提供產業界晶圓後段共同開發/製造平台,節省研發過程建置場域/硬體的龐大成本。其引進的248nm深紫外線曝光機,為目前國內研發機構中,唯一具備可曝寫深次微米尺寸之量產型曝顯設備

工研院奈米實驗室實景

奈米實驗室實景。

DM_Chip Technology & Design Division Electronic and Optoelectronic System Research Laboratories (PDF檔)
奈米電子實驗室模組製程服務平台。
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