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電光所奈米電子實驗室提供高水準的無塵室場域，提供產業界晶圓後段共同開發／製造平台，節省研發過程建置場域／硬體的龐大成本。其引進的248nm深紫外線曝光機，為目前國內研發機構中，唯一可提供於透明基板進行曝寫深次微米尺寸製程服務的設備。