工研院量測技術發展中心執行科技專案成果如下，歡迎合作詳細請洽詢葉經理（+886-3-5743751）。
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序號
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計畫名稱
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技術名稱
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成果年度
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1
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半導體產業低碳製造技術計畫
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用於微影製程的檢測方法與檢測平台
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114
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2
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工研院創新前瞻技術研究計畫
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無線晶圓式電漿量測技術
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114
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3
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工研院創新前瞻技術研究計畫
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高階析X-ray影像檢測技術
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114
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4
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工研院創新前瞻技術研究計畫
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蛋白質濃度分析樣品前處理設備
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5
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工研院創新前瞻技術研究計畫
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METALENS品質量測技術
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6
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工研院創新前瞻技術研究計畫
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連續式微流道線上監控技術
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