技術簡介
工研院建置水中微粒計數感測模組與即時監測系統，可連續掌握製程液中的微粒變化，協助IC載板濕製程降低缺陷並提升良率。
高精密IC載板需反覆進行化學鍍膜與水洗作業，水中微粒數量影響良率至鉅；而市售微粒子感測儀屬實驗室設備，多需人工取樣、離線分析，難廣泛應用於產線即時監控；此外，IC載板製程化學溶液繁多，溶液本身顏色會干擾光學量測，導致誤判。工研院開發「水中微粒計數感測模組」，內建高感度液體微粒感測及色度補償技術，利用即時光學吸收率變化，修正槽液顏色對粒徑判別的干擾，微粒子感測範圍在1至5 um 間，且計數誤差小於10%。
特色與創新
與傳統微粒感測儀相比，此模組具高感度與廣泛場域適應性，可直接部署於生產線進行連續監測，現已導入國內印刷電路板ABF載板廠，協助減少電化學鍍膜廢品達20%；應用於面板清洗製程，可掌握循環水品質，提升製程良率，強化載板溼製程自動化監控能量。