技術簡介
工研院高精度噴墨印刷設備整合多噴頭供料、精密定位與環境控制，可進行微量材料的高精度噴印製程。
本高精度噴印設備可配置6個獨立噴頭與供料系統，於氮氣手套箱環境中進行噴印製程，噴印準確度±5μm，附屬設備包含真空乾燥腔體、加熱板烘烤腔體及UV固化，可提供高精度顯示材料之噴印製程及細線寬噴印服務。
技術規格：
◆ 玻璃基板尺寸：370mm x 470mm x 0.7mm
◆ 噴頭型號：Konica Minolta 1800i，Samba G3L
◆ 噴印準確度：±5μm；平台溫控：10~60℃（±3℃）
◆ UV 固化波長：395nm wavelength
◆ 加熱板溫度設定範圍：25℃~250℃
◆ 手套箱：O2<10ppm，H2O<10ppm
◆ 油墨黏度：3~10cp；液滴體積：5~10pL
應用與效益
本設備平台可應用於量子點（QDs）、細導線（Solder Masks）、奈米銀線（Silver Nanowires）等材料之圖案化製程。