技術簡介
工研院微型氣體感測技術整合MEMS微加熱器、薄膜感測材料與高精度電路，可即時量測TVOC、乙醇及一氧化碳等氣體濃度。
開發抗熱應力、高均溫之MEMS微加熱器，加載薄膜式金屬氧化物感測材料，並整合可程式溫控及感測電路晶片於同一封裝體內，濃度偵測極限達ppb等級，具備微型化、數位化、超低功耗與高穩定性等優勢。
特色與創新
MEMS微型加熱器加載薄膜感材，結合創新寬域高精度感測電路，達到微濃度偵測極限。
技術特色
- 抗熱應力／高均溫微加熱器結構。
- 專利可程式溫控電路。
- 專利寬域高精度感測電路。
- 薄膜式感測材料及加載技術。
技術規格
- TVOC Range：0~3000 ppb。
- Ethanol Range：0.5~500 ppm。
- CO Range：0.1~400ppm。
- DC Power Consumption：< 50mW。
應用與效益
可應用於居家照護、工商產業、公共環境維安、健康管理、醫療安全、物聯網環境感測等領域。
工研院微型氣體感測元件採MEMS微型化設計，兼具低功耗與高靈敏度，可整合至小型化感測設備。
工研院微型氣體感測技術可結合行動裝置與環境監測系統，即時呈現空氣品質資訊，拓展居家、公共環境與物聯網應用。