技術簡介
工研院智慧感測器製程整合試產驗證平台串聯感測元件、智慧製造與物聯網應用，協助業者進行感測器產品開發與產業導入。
結合智慧感測器研發試量產能量，整合感測器之設計、試製、導入試量產等技術，提供感測器雛型開發試製及試量產出貨，並掌握異質整合與技術互補優勢，加速協助產業關鍵感測技術開發。
特色與創新
- 以智慧製造、感知物聯網所需之智慧感測器為研發建置標的，發展智慧感測器製程整合驗證技術與平台環境建構。
- 以國內智慧感測器與創新產品研發／快速試製／試量產為定位，提供基礎設施／環境與專業技術服務，協助業界透過技術創新，開創商機。
應用與效益
串聯半導體製造的優勢，協助智慧製造、感知物聯網產業透過關鍵感測器開發創造產業加值。
工研院智慧感測器製程整合試產驗證平台整合微機電、半導體製程與試量產設備，提供從元件設計、製程開發到試製驗證的一站式技術支援。