工業技術研究院

技術簡介

渦電流感測器透過交變磁場感應導體中的電流變化來量測位移，具備高靈敏度、可靠性與可整合性，特別適用於須非接觸式感測應用之環境。本技術包含探頭參數設計最佳化與電路的差分電橋線圈組的應用，提升系統的測量範圍與靈敏度，同時利用差分設計有效消除誤差，最終經由解調電路，將標靶材料之位移訊號轉換為電壓訊號。

Abstract

The eddy-current sensor measures displacement by inducing alternating magnetic fields that generate currents within a conductor. It offers high sensitivity, reliability, and integrability, making it especially suitable for non-contact sensing applications. This technology encompasses optimized probe parameter design and the use of a differential bridge of coil assemblies, which together expand the measurement range and enhance sensitivity. The differential configuration effectively cancels out errors, and a demodulation circuit ultimately converts the displacement signal of the target material into a voltage output.

技術規格

直徑10 mm探頭之感測器於–0.5 mm至0.5 mm的量測範圍，線性度可低於1.7％，而靈敏度大於1 mV/μm。

Technical Specification

The sensor employing a 10 mm-diameter probe achieved a measurement range of –0.5 mm to 0.5 mm, with linearity of less than 1.7％ and sensitivity exceeding 1 mV/μm.

技術特色

透過開發渦電流位移感測數學模型，進行探頭參數最佳化設計，並降低開成本，可針對特定標靶材料進行線性度與靈敏度之提升，實現非接觸式且高精度的位移量測功能。

應用範圍

磁浮、泵液泵及真空泵

接受技術者具備基礎建議（設備）

液體泵、零組件廠(馬達、感測器)

接受技術者具備基礎建議（專業）

流體機械、馬達及非接觸式感測技術

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