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工業技術研究院

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技術名稱: 液壓輔助高阻尼單元

技術簡介

提供滾珠主軸內建或附加伺服進給模組調整阻尼間隙,連接,以伺服馬達驅動導螺桿造成具斜錐面的調整楔塊軸向移動,利用伺服馬達回授阻尼間隙位置精確改變阻尼間隙,達成改變阻尼特性的目的。阻尼間隙以供油系統加入阻尼油流體,根據加工狀態與振動特性,調整組尼間隙與供油壓力,降低振動量以提升加工精度

Abstract

An integrated or add-on servo feed module is provided on the ball screw to adjust the damping gap. A servo motor drives a lead screw to axially move a tapered wedge, precisely changing the damping gap through position feedback. Damping oil is supplied into the gap, and the gap size and oil pressure are adjusted according to machining conditions and vibration behavior. This actively modifies the damping characteristics, suppresses vibration, and improves machining accuracy.

技術規格

1.伺服調整阻尼抑振單元 2.阻尼間隙調整範圍0~2.0mm

Technical Specification

1.Servo Adjustable Damping Vibration Damping Unit 2.Damping Gap Adjustment Range: 0 to 2.0 mm

技術特色

提供滾珠主軸內建或附加伺服進給模組調整阻尼間隙,連接,以伺服馬達驅動導螺桿造成具斜錐面的調整楔塊軸向移動,利用伺服馬達回授阻尼間隙位置精確改變阻尼間隙,達成改變阻尼特性的目的。阻尼間隙以供油系統加入阻尼油流體,根據加工狀態與振動特性,調整組尼間隙與供油壓力,降低振動量以提升加工精度

應用範圍

硬脆材料(藍寶石、SiC)研磨製程、高階封裝異種材料研磨製程

接受技術者具備基礎建議(設備)

精密滾珠主軸、伺服馬達與控制器、導螺桿進給模組、油壓箱、調壓閥、加速規、振動計

接受技術者具備基礎建議(專業)

精密主軸、伺服控制、振動

技術分類 光電與半導體製程設備

聯絡資訊

聯絡人:翁志強 半導體設備技術組

電話:+886-3-5918795 或 Email:PeterWeng@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:

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