工業技術研究院

技術簡介

本技術利用高頻交流激磁線圈產生交變磁場，當金屬導體接近時會誘發渦電流，藉由渦電流造成線圈阻抗變化進行非接觸式位移量測。技術採用自主設計之平面線圈、感測電路及訊號解調演算法，可提供微米等級解析度、高靈敏度及高速量測能力，並具有體積小、成本低、耐污染及易於整合等優點，可應用於磁浮控制、精密設備、智慧製造及自動化設備之位移監測。

Abstract

This technology utilizes a high-frequency excitation coil to generate an alternating magnetic field. When a conductive target approaches the sensing coil, eddy currents are induced, causing changes in coil impedance for non-contact displacement measurement. The technology integrates proprietary planar coil design, sensing circuitry, and signal demodulation algorithms to achieve micrometer-level resolution, high sensitivity, and high-speed measurement. With compact size, low cost, contamination resistance, and easy system integration, it is suitable for magnetic levitation control, precision machinery, smart manufacturing, and industrial automation.

技術規格

非接觸式渦電流位移量測規格為： 量測範圍：約0～3 mm（依探頭設計可客製） 解析度：微米(µm)等級 感測頻率：kHz～MHz（依應用需求調整） 感測探頭：平面PCB線圈 適用材料：導電金屬

Technical Specification

The specifications of Non-contact eddy current displacement measurement are as follows: Measurement range: 0～3 mm (customizable) Resolution: Micrometer-level Operating frequency: kHz to MHz Sensor probe: Planar PCB coil Applicable targets: Conductive metallic materials

技術特色

本技術採用自主開發之平面渦電流感測器與訊號解調技術，相較於傳統線性可變差動變壓器LVDT或光學位移計，具有結構簡單、體積小、成本低及耐油污、耐粉塵等優點，可於高速旋轉、高振動及惡劣工業環境下穩定量測，並可依不同應用需求客製化探頭尺寸及量測距離。

應用範圍

磁浮控制系統、精密定位平台、CNC工具機、半導體設備、自動化設備、馬達位置回授、軸振動監測、智慧製造設備

接受技術者具備基礎建議（設備）

感測器製造商、電子量測設備

接受技術者具備基礎建議（專業）

感測器設計、電子電路設計、高頻訊號處理、PCB設計、控制系統整合

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