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工研院智慧微系統科技中心於2016年1月成立,由工研院南分院副執行長朱俊勳博士升任新成立中心主任。微系統中心已累積多年的微機電技術研發成果與能量,如微機電製程整合、元件與模組設計、智慧/生醫微系統之技術整合,並運用於Smart Sensor、Micro-Systems及Machine Intelligent等領域。

因應全球智慧感測物聯網及智慧製造趨勢,微系統中心將以應用於「智慧製造」、「感知物聯網」的智慧微系統為研發標的,快速結合科技中心、法人及學術界的研發資源,鏈結產業界與國際研發能量,發展智慧感測與微系統整合應用關鍵技術。未來中心任務,將以關鍵組件國產化、關鍵技術自有化、建立產業聚落與生態系為努力的目標,扮演臺灣智慧微系統產業的推手,進而成為世界級的智慧微系統科技研發中心。

應用於「智慧製造」與「感知物聯網」之智慧微系統技術研發,智慧微系統科技中心的研發方向及主要服務有:
■ 智慧製造感測器自主(Machine Intelligence),關鍵工業感測元件/模組與系統整合應用。
■ 智慧生活/智慧照護及感知物聯網應用(IoT Service),MEMS智慧感測器、多重感測融合(Sensor fusion)與系統整合應用。
■ 智慧感測模組開放式快速試製平台(MEMS Fab.),提供微機電元件、CMOS/MEMS製造封測試量產服務。