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半導體機台故障預診斷

高精密製程的半導體生產非常注重成品良率,穩定生產設備是維持高良率的關鍵要素之一,一般多採用定期保養來維持機台穩定,但是仍可能發生非預期性故障停機, 或是當品質檢測發現問題時才知道機台發生異常,往往造成大量廢片損失、生產延遲與良率大幅下降。此技術是藉著收集、分析機台資料來監控與評估設備及其零件的健康狀態,並整合十幾種人工智慧演算法建立「眾智式AI 學習預測技術」,及早預測機台需要維修的時間點,預測準確率達95%,使工廠能更積極掌握機台的健康情況,大幅減少產線因機台突然故障而必須停頓的風險,實踐工業4.0 智慧製造的應用。該技術榮獲2017 年全球百大科技研發獎。

半導體機台故障預診斷
半導體機台故障預診斷
  

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