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工研院SuperSizer技轉兆晟奈米科技 鷹眼級服務 穩固半導體產業競爭力

台灣半導體產業潛力雄厚,明年成長幅度高居7%更是全球之冠,其中攸關良率的關鍵又以檢測技術為最。工研院在經濟部的支持下,於今(24)日宣布將獨步全球的「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給今年8月成立的新創公司-兆晟奈米科技,共同與半導體自動檢測大廠致茂電子攜手打造半導體前段高階製程,以鷹眼級的微縮製程檢測服務直接造福半導體產業,強化傲視群雄國際競爭力。

工研院與新創公司兆晟奈米科技,舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式,共同為半導體產業,攜手打造半導體前段高階製程。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。
工研院與新創公司兆晟奈米科技,舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式,共同為半導體產業,攜手打造半導體前段高階製程。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。

經濟部技術處簡任技正林浩鉅表示,台灣的半導體產業為全球前三大,對我國GDP的直接貢獻度約8%,而由半導體延伸出去的廣義電子產業更達到GDP 30%以上。無疑地,半導體是台灣必須持續穩固的硬實力,105年技術處以特殊具時效性計畫,支持「SuperSizer」建置試量產能力、完成設備安全驗證、進行新創事業籌備。今天的研發成果,就是藉由科專計畫補足產業化最後一哩路,也是科技專案產業化成果的典範。

工研院SuperSizer技術技轉兆晟奈米科技,未來希望推進半導體測試方案至前端製程,提供客戶更全面的半導體/IC測試解決方案。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明,兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。
工研院SuperSizer技術技轉兆晟奈米科技,未來希望推進半導體測試方案至前端製程,提供客戶更全面的半導體/IC測試解決方案。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明,兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。

工研院院長劉仲明表示,今天的簽約除了展現工研院的前瞻檢測技術的優勢,也是彰顯工研院落實產業化之創新育成實績,工研院最近才從全球百大科技研發獎中抱回九項大獎,這些得獎的技術除了給予團隊高度的肯定外,最重要的是要落實產業化的研發成果。工研院最重要的指標是帶動產業發展,今天移轉的SuperSizer檢測技術亦曾在2015年入圍R&D 100 Awards,給技術團隊很大的鼓舞,並思考如何與半導體產業連結,並說服領導廠商採用,落實產業化。致茂電子是國內卓越中堅企業,也是唯一擁有量測與自動化能量的儀器大廠,技術跨足電動車、半導體等領域;工研院將這項前瞻技術技轉新創「兆晟奈米科技公司」,期許該公司發揚光大,成為世界級頂尖的公司。

兆晟董事長黃欽明表示,兆晟的「新世代溶液奈米粒子監測系統」是非常創新的技術,與致茂電子共同切入半導體前段製程檢測,並已獲准進入新竹科學園區,資本額將從二千萬元增至二億元。目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米,而良率更是先進製程的主戰場,如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制,對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。如果能幫助半導體製程良率提升一%,獲利將可提升八%,成果驚人。事實上,奈米粒子檢測潛力無窮,除了半導體外,包括生醫、製藥都是可以應用的範圍,兆晟做為致茂電子的一份子,其核心符合世界級產品的定義:精準、可靠、獨特,以此進軍國際市場,極有可能成為另一個台灣之光,對台灣經濟有重大貢獻。

工研院SuperSizer技轉兆晟奈米科技,以鷹眼級服務穩固半導體產業競爭力。照片前排中為工研院量測中心主任林增耀(左二)、工研院協理段家瑞(左三)、工研院院長劉仲明(左四)、經濟部技術處簡任技正林浩鉅(左五)、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明(左六)。
工研院SuperSizer技轉兆晟奈米科技,以鷹眼級服務穩固半導體產業競爭力。照片前排中為工研院量測中心主任林增耀(左二)、工研院協理段家瑞(左三)、工研院院長劉仲明(左四)、經濟部技術處簡任技正林浩鉅(左五)、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明(左六)。

工研院量測中心主任林增耀表示,今天是抱著嫁女兒的心情來參加記者會,這對量測中心來說,是實現偉大夢想的開始。根據研究機構Tractica預估,AI驅動軟硬體營收從2015年的8億成長到2025年上看約1740億美元,年複合成長率達56%。伴隨著AI世代的來臨,帶動智慧機器人、智慧製造、智慧物聯以及無人駕駛等高階晶片生產需求大增,都更加速半導體產業持續投入10奈米以下的製程發展。而由工研院研發之SuperSizer技術,檢測技術明察秋毫,不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度,可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米,遠優於業界約20奈米的監測水準。根據以此估算,若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染,每提升0.1%良率,預估可增加淨利600萬美元;此一創新研發技術,也因傲人的產業效益而備受國際矚目。

工研院技轉兆晟奈米科技的「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」,突破奈米微粒的量測極限,可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米,監測水準遠優於業界,解決半導體製程持續微縮所面臨的難題。
工研院技轉兆晟奈米科技的「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」,突破奈米微粒的量測極限,可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米,監測水準遠優於業界,解決半導體製程持續微縮所面臨的難題。

展望未來,兆晟奈米科技還規畫將SuperSizer技術擴大應用,除了提供半導體產業之化學原料供應商的檢測服務以外,同時加速研發氣膠粒子監測,將檢測服務從半導體跨界至奈米製藥需求、空氣品質和環境品質監測,為民眾健康把關,開創更多元的附加價值!

【新聞連絡人】工研院行銷傳播處
黃之怡
電話:+886-3-5914938
Email:cyhuang1230@itri.org.tw

李懿蓉
電話:+886-3-5915128
Email:vivianlee@itri.org.tw

  

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