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董事長
院長
副院長
協理
資深專家
院長辦公室主任
電子與光電系統研究所所長
資訊與通訊研究所所長
機械與機電系統研究所所長兼 智慧機械科技中心執行長
材料與化工研究所所長
綠能與環境研究所所長
生醫與醫材研究所所長
產業科技國際策略發展所所長
量測技術發展中心執行長
產業學院執行長
南分院執行長
產業服務中心執行長
中分院執行長
服務系統科技中心執行長
智慧感測與系統科技中心執行長
技術移轉與法律中心執行長兼 法務長
行政服務處處長
資訊服務處處長
會計與財務處處長
企劃與研發處處長
人力資源處處長
業務發展處處長
行銷傳播處處長