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先進半導體與量子科技
極紫外波段光輻射量測與校正技術
工研院發展「極紫外（Extreme Ultraviolet；EUV）波段光輻射量測與校正技術」，目前已與國家同步輻射研究中心合作建置極紫外光光偵測器分光響應校正系統。
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智慧製造
數位化光學式建築界限量測儀
工研院開發「數位化光學式建築界限量測儀」，導入光學式量測方法，整合精密距離感測器、訊號處理與運算及顯示等，以手推式連續且完整量測月台水平距離和高度，一座約400公尺長的月台，僅需半
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先進半導體與量子科技
半導體2奈米GAA製程前段X光量測技術
工研院發展新一代「X 光量測技術」，以滿足環繞式閘極（Gate All-Around；GAA）先進製程之 CD 量測。
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綠能科技
太陽光電產品測試驗證技術
工研院致力於太陽光電產業標準化工作，提供產品測試驗證服務，並於2019年開發創新之非均勻動態機械負荷系統，作為太陽光電模組抗強風試驗平台，此平台可依據環境差異，建立不同的風力分布設
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智慧醫療與照護
中大分子尿毒素量測技術
末期腎臟病患者雖可透過血液透析維持生命，但現行透析對「中大分子尿毒素」清除效果有限，患者仍面臨較高的併發症風險。
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綠能科技
汙染潛勢地圖與互動式分析平台
工研院建構「汙染潛勢地圖與互動式分析平台」，整合多源空品資料至地理資訊系
統，讓人員可在數分鐘內完成汙染事件解析，作業效率提升逾10倍。
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先進半導體與量子科技
奈米粒子不純物檢測
工研院針對「奈米粒子不純物檢測」，開發基質前處理模組並整合電移動度分析技
術，可精準量測硫酸中20 nm至100 nm之極細微不純物。
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綠能科技
智慧水量計、氣量計驗證實驗室
工研院依據國際標準 OIML R49 和 OIML R137，整合流量計量、電磁防護、電源干擾、安規驗證等跨領域技術，建立國家級專業實驗室，確保型式認證檢測技術與能量符合相關標準與
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先進半導體與量子科技
高解析X-ray CT影像設備與校正技術
隨著 AI 時代的到來，對 GPU 和高頻寬記憶體等高運算晶片的需求日益增加，推動2.5D 及 3D 堆疊的先進半導體封裝需求。然而，隨著高階晶片尺寸的微縮，對 X-ray CT
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綠能科技
儲能驗證與電動車檢測能量
發展再生能源及推動電動車是達成2050淨零排放的二個關鍵項目。