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董事長
院長
副院長
協理兼 南分院執行長
協理
資深專家
院長辦公室主任
電子與光電系統研究所所長
資訊與通訊研究所所長
機械與機電系統研究所所長兼 智慧機械科技中心執行長
材料與化工研究所所長
綠能與環境研究所所長
生醫與醫材研究所所長
產業科技國際策略發展所所長
量測技術發展中心執行長
產業學院執行長
產業服務中心執行長
中分院執行長
服務系統科技中心執行長
智慧感測與系統科技中心執行長
技術移轉與法律中心執行長兼 法務長
行政服務處處長
資訊服務處處長
會計與財務處處長
企劃與研發處處長
人力資源處處長
業務發展處處長
行銷傳播處處長