技術簡介
高靈敏高基質水質尿素檢測系統。
南科再生水廠由國內半導體廠商、工程公司及工研院合作，從實驗室測試、系統整合及工程建造，以南科園區汙水處理廠放流水為原水，處理後做為半導體製程用水，對水質有極高要求，為臺灣首例民營再生水廠，也是全球第一個應用案例。
特色與創新
由於進流水水質複雜，工研院應用生物網膜（BioNET）、流體化床結晶廢水處理技術（FBC）及厭氧流體化床生物處理技術（AFB）等，進行RO過濾之前處理及後處理，讓水質達到嚴格的要求，濃排水也同時達到納管標準。此外，再生水需嚴格控制尿素濃度，由於商用尿素檢測儀器易受干擾，使測值不穩定；因此，工研院以「高靈敏高基質水質尿素檢測系統」，協助支援整廠尿素趨勢驗證與優化處理流程，使再生水廠水質達成半導體再生水標準（尿素＜5ppb）。
應用與效益
此廠已於2022年9月中旬正式通水，每日將產出20,000立方公尺的再生水。