技術簡介
電子級溶劑綠色循環技術。
國內半導體及光電產業居世界領導地位，對高階製程化學助劑如蝕刻、清洗等溶劑之品質與需求量均高。工研院以典型化工分離技術為基礎，開發電子級溶劑純化專用之分壁式蒸餾（Dividing-Wall distillation Column；DWC）綠色循環技術，具純度品質穩定、回收率高與能耗低等優勢，並首創於電子材料廠線上使用，大幅改善高價溶劑損耗與場外回收品質不良的困境。
特色與創新
此技術適用於鋰電池、薄膜材料廠之溶劑排氣，與晶圓及面板廠之光阻剝離、稀釋劑的循環純化，經實廠應用驗證，除了大幅改善污排外，系統運轉成本低於新品溶劑價格50%，預估無論規模大小都可在二年內回收投資。
應用與效益
此技術商業運轉案例已達四家七案，直接效益一年達12億元。