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工業技術研究院

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大氣壓電漿表面製程技術

技術簡介

大氣壓電漿表面製程技術。
大氣壓電漿表面製程技術。

大氣壓電漿表面製程技術提供綠色環保製程,使用電漿進行活化、金屬氧化物還原、有機物蝕刻及鍍膜製程,相較於濕式化學製程,無廢液汙染問題,減少環境汙染。不需真空腔體及複雜儀器,一般環境即可產生電漿,節省製程設備成本。

特色與創新

工研院擁有獨特高密度電漿源設計及製造能力,可處理導電材料,以及反應溫度低又不耐熱之塑膠基材(製程溫度<120℃)。

大氣壓電漿表面製程技術。
大氣壓電漿表面製程技術。



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