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工業技術研究院

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經濟部推進半導體先進量測 促工研院、英國牛津儀器國際聯手 創國際半導體新局

工研院與英國牛津儀器...(詳如圖說)
工研院與英國牛津儀器(Oxford Instruments)合作,進行前瞻半導體量測技術聯合實驗室合作備忘錄(MOU)簽署。圖中上排由左起:英國在台辦事處代表鄧元翰、工研院副院長彭裕民、英國牛津儀器產品總監克里斯提安。圖中下排由左起:工研院產業科技國際策略發展所所長蘇孟宗、工研院量測中心執行長林增耀、英商牛津儀器奈米研究事業群業務暨服務副總裁喬納森。

隨著半導體大廠搶進二奈米製程後,有關電晶體結構、尺寸、薄膜厚度等關鍵元件尺寸量測精準與否,變得極具挑戰。經濟部技術處建立產業在車載電子、新一代半導體衍生的尖端量測需求,協同英國在台辦事處共同促成工研院與英國牛津儀器(Oxford Instruments)合作,於10月28日進行前瞻半導體量測技術聯合實驗室合作備忘錄(MOU)簽署,規劃整合工研院與牛津儀器的共同研發能量,布局下世代半導體檢測實力。

經濟部技術處表示,臺灣是全球半導體重要樞紐,具有完整產業鏈外,更以二奈米製程技術領先全球。根據Mordor Intelligence市場調查統計,2020年半導體計量檢測設備市場規模為41.647億美元,預計到2026年將達到53.734億美元,具有極大發展潛力。此次合作案是半導體先進量測的里程碑,牛津儀器公司是全球知名儀器設備製造跨國集團,先進產品與服務遍布全球。而工研院擁有全球領先的半導體先進量測技術,雙方合作可利於加速國內前瞻半導體技術應用,發展更完整的半導體生態系統。

英國在臺辦事處代表鄧元翰指出,半導體對全球產業發展影響甚鉅,不論是車電、3C等領域都具舉足輕重地位。英國擁有牛津等數家世界領先的半導體公司,聚焦在超低功耗IC設計到複合半導體設計和生產,為世界領先的工業製造公司和科研團體提供高科技設備和服務。工研院是推動臺灣半導體產業發展的重要推手,期待牛津儀器與工研院的合作能創造出更多創新、協作與夥伴關係。

工研院副院長彭裕民表示,工研院擁有豐沛的半導體與光電研發能量與人才,構面更橫跨上、中、下游產業鏈,目前已針對微縮至二~三奈米晶片製程,開發前瞻性技術檢測能力。工研院與牛津儀器最早是從2017年半導體光電元件開發與設備技術合作開始,雙方具有良好合作默契,再次合作將為先進製程提供前瞻量測技術,建立工業量產良率監控的關鍵工具,期待臺英之間的國際合作可以加速雙方及產業的技術進步,引領半導體產業邁向新的發展。