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工業技術研究院

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院士名錄

林本堅 院士

林本堅 院士

林本堅副總經理為台灣積體電路製造股份有限公司研究發展副總經理,畢生致力於半導體製程科技,以前瞻的研發不斷改寫半導體歷史,協助台積電建立台灣完整半導體產業體系。林副總經理曾於IBM 華生實驗室工作22 年,期間帶領研發團隊創造出許多世界第一的技術,包括1 微米、0.75 微米、0.5 微米的光刻技術。加入台積電後,在2002 年研發出193 奈米浸潤式(Immersion)微影技術,讓台積電一口氣跳躍成長三個技術世代,成為世界的領先者,此項技術對全球半導體產業及台積電在65 奈米以下先進製程貢獻極大。

此後,甚至當全世界半導體研發團隊,專注於157 奈米波長技術,林副總經理以193 奈米波長的光,進一步透過水的中介,就能縮短至134 奈米,論文發表時驚艷業界,也讓台積電首次主導業界規格,讓包括IBM 在內多家已訂購157乾式機台的業界,全部退單跟進台積電。同時,被林副總經理第一個研發出來,命名為深紫外線(Deep UV)的世界最短波長光線,至今已問世將近30 年,目前仍為許多半導體廠採用。

林副總經理以技術創新發明及數十年如一日的堅持,為半導體產業寫下許多記錄,卓越的研發成就更讓其榮獲包括NAE Member,IEEE Fellow、SPIE Fellow 等多項榮譽,不但對台積電,更對台灣半導體產業影響至為巨大深遠。

學經歷

  • 2011~迄今 SEMI 台灣IC 委員會主席
  • 2011~迄今 台灣積體電路製造股份有限公司研究發展副總經理
  • 2002~2011 Journal of Micro-Nanolithograph, MEMS, and MOEMS 總編輯
  • 2000~2011 台灣積體電路製造股份有限公司奈米製像技術發展處資深處長
  • 1992~2000 領創(Linnovation) 公司總經理
  • 1984 IBM 研發部經理
  • 1970 IBM Research staff member
  • 1970 美國俄亥俄州立大學電機工程博士
  • 1963 台灣大學電機學士

榮譽

  • 2013 IEEE Jun-ichi Nishizawa Medal Award
  • 2011 Distinguished Achievement Award from the Chinese Institute of Engineers
  • 2011 TSMC Distinguished Fellow
  • 2011 SEMI Special Contribution Award
  • 2010 IC Outstanding Achievement Award, SEMI Taiwan
  • 2009 Recipient, Cledo Brunetti Award, IEEE
  • 2009 Benjamin G. Lamme Medal, Ohio State University
  • 2008 NAE Member 美國國家工程學院院士
  • 2007 第15 屆經濟部產業科技發展獎「前瞻技術創新類個人成就獎」
  • 2006 中華民國光學工程學會工程獎章
  • 2006 TSMC Innovation Award
  • 2005 第23 屆國家十大傑出經理獎傑出研發經理
  • 2004 潘文淵文教基金會研究
  • 2004 TSMC Innovation Award
  • 2004 First Frits Zernike Award from SPIE
  • 2003 行政院傑出科技榮譽獎(台積電6 人同得)
  • 2003 SPIE Fellow 國際光學工程學會院士
  • 2002 IEEE Fellow
  • 2002 全國十大工程師


延伸閱讀