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工業技術研究院

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半導體產業-自動化光學檢測設備系列產品

服務說明

自動化光學檢測設備系列產品
自動化光學檢測設備系列產品

提供多種自動化檢測模組/設備,可滿足半導體上中下游產業檢測需求,相關產品包括奈米至微米等級二維/三維關鍵尺寸量測、2.5D/3D IC堆疊參數量測、以及瑕疵檢測。



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