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工業技術研究院

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化性與成份分析

感應耦合電漿原子發射光譜分析儀(ICP-OES)

具採用專利的密封充氣紫外光學系統、全譜CCD技術和多視角電漿定位等新技術,有高靈敏度、高精密度以及波長範圍寬(130nm-770nm)等特性,可分析包括ppm級鹵素在內的73個金屬和非金屬元素。

應用領域

包含奈米材料、光電材料、半導體、化學品、水質、粉塵、土壤、金屬、礦石、陶瓷、油料、塑膠、食品、生物組織等樣品之組成、表面、故障分析,廣泛使用在研究開發、製程控制、品質控制、線上監測等的元素分析上。

規格說明

  • Polychromator
    • Thermally stabilized to +15°C ± 0.5°C
    • Circular design, Paschen-Runge mounting
    • Focal length 750 mm
    • Holographic grating: 2 x 3600, 1 x 1800 grooves/mm
    • MgF2 optical components, Grating material Zerodur
    • Wavelength range: 130-770 nm,full 1st order wavelength coverage
    • Entrance slits width: 15 μm
  • Detector
    • 32 linear CCD arrays, 3648 pixels per array
    • Pixel resolution: 130-340 nm 3 pm, >340 nm 6 pm
    • Thermally stabilized optical system
    • Parallel readout architecture
    • Dynamic range up to 9 orders of magnitude
    • Shortest integration time: 0.1 ms
    • Shortest measurement time for one analysis: 2 s
    • TCP/IP interface to data processing system
  • UV System
    • UV-Plus system
    • Gas filled (Argon), no consumable purge gas required
    • Easy to maintain entrance optics
    • Automatic gas purifying system
    • Lifetime of purifying cartridge: 12-15 months
  • RF-Generator
    • Free running type, Frequency: 27.12 MHz
    • RF power output: 0.7 to 1.7 kW
    • Power efficiency: >70 %, power stability <0.1 %
    • Automatic plasma ignition
    • Fully computer controlled
    • Air cooled (no external cooling required)
    • Solid state power supply fully integrated in cabinet
  • Dimensions and Weight
    • Spectrometer (HxWxD) 1074 x 1610 x 753 mm, (42.3 x 63.4 x 29.7 inch)
    • Footprint (WxD) 1367 x 692 mm, (53.8 x 27.3 inch)
    • Approx. 250 kg (approx. 550 lbs) 

感應耦合電漿質譜儀(ICP-MS)

ICP-MS 為目前公認最強有力之元素分析技術,其主要特點有靈敏度高、動態範圍廣、分析速度快、元素質譜相對簡單,干擾較少,大部分週期表上的元素都可以進行測定,並且可以提供精確之同位素訊息,可同時分析溶液中70個元素達ppt等級。

應用領域

包含半導體、封裝、印刷電路板、BGA、光碟片、LED、環境、有機及無機溶液等。材料組成、不純物或污染物可做定性及定量分析。

規格說明

  • cooled spray chamber
  • robust interface
  • omega2 off axis lens
  • hyperbolic rod quadrupole、
  • fast simultaneous dual mode detector
  • turbo pump 70L/Sec

儀器性能

  • 質譜解析度:1amu
  • 基質負荷:500~1000ppm
  • mass range:2–260 AMU
  • RF frequency:3 MHz
  • minimum dwell time:100 μs
  • abundance sensitivity:low Mass <5 X 10-7;high Mass <1 X 10-7

高解析感應耦合電漿質譜儀(HR ICP-MS)

一般分析的對象包括材料如半導體、金屬、觸媒、石油、塑膠、玻璃、海水、岩石、食品、藥物、生物及環境樣品等。其他分析則包括有機/無機混成微孔材料中元素組成分析。
※光電材料中微量不純物分析(OLED材料、PLED材料與液晶材料等)。
※奈米Clay材料組成分析,高純度化學品或材料不純物分析,有機/無機奈米材料常量與微量定量分析,B、Si、P、S等非金屬複合材料組成分析等。

規格說明

  • Fixed Resolution:300、400、10000
  • Plasma: Cold Plasma Hot Plasma
  • Decetion Limit :<5ppt for mast of Elements

儀器性能

儀器解析度>10,000以上,可有效去除一般因複合原子所造成之干擾,電漿型態分為Cold-plasma與Hot-plasma,可有效用來分析不同系類之金屬與非金屬,分析能力達ppt等級。

介質輔助雷射脫附離子化質譜儀(MALDI-TOF-TOF)

本質譜儀搭配液相層析及點陣機作為off-line LC-MALDI,應用於混合物質或蛋白質體分析。其分析載具包括:TLC載台、組織切片載台,結合快速掃描速度(1000 Hz)、解析度高(R=40000)及具有同位素圖譜比對之功能,可作為影像質譜分析之應用。其質譜分析範圍廣泛,可分析大、小分子化合物,如: 蛋白質體、高分子、中小分子等進行分析鑑定。此整合型質譜分析儀器可廣泛應用於蛋白質體、菌種分析、代謝體、中草藥物、小分子藥物、不純物質、油品及化合物定性、定量及鑑定分析。

規格說明

  • laser  speed:1000 Hz
  • laser focus diameters :10um
  • Resolution:40,000
  • Mass accuracy: 1ppm
  • Isotopic fidelity

超高解析液相層析四極柱串聯飛行時間質譜儀(LC-Q-TOF)

本質譜儀解析度高及具有同位素圖譜比對之功能,可針對未知成份進行分子組成預測。其游離源包括ESI、APCI及DIP可廣泛分析各類型之化合物。搭配2套液相層析儀(nano LC 及RSLC)結合DAD,同時提供UV及質譜數據,此整合型質譜分析儀器可廣泛應用於蛋白質體、代謝體、中草藥物、小分子藥物、不純物質、油品及化合物定性、定量及鑑定分析。

規格說明

  • Resolution:40,000
  • Mass accuracy: 1ppm
  • acquisition speed:50Hz
  • Isotopic fidelity
  • MS range:m/z ±20-40000
  • MS/MS: m/z ±3000

Micro-Fourier Transform Infrared Spectroscopy(μ-FTIR)

用於紅外吸收光譜量測,以進行材料組成及官能基鑑定。本設備配有真空抽氣裝置及顯微影像觀測系統,可進行一般及真空紅外吸收光譜量測、微區分析、非均質材料組成分佈、螢光影像觀測、高分子定向及多層膜縱深成分分布等分析。

規格說明

  • FTIR  main engine:
    • spectrum range:7000~400cm-1
    • scanning rate:55  MHz
    • step scan:time resolution better than 5~3000 Hz,
    • phase modulation and trigger slave/master
  • FTIR  microscope:
    • 單一及64 x 64平面矩陣MCT偵測器各一;
    • scanning range:7000~600  cm-1
    • 具10X目鏡,4 X、15 X及32 X物鏡及20 X ATR鏡頭
    • 具兩種倍率,及大面積影像觀測功能
    • 具馬賽克(Mosaic)紅外線影像匯集功能
  • resolution:<0.1  cm-1 (apodized)
  • S/N  Ratio:10,000/1 (peak  to  peak  noise  from  2200-2100  cm-1, 5sec, 4cm-1  Resolution)
  • 光譜影像解析度:2 m,4 m,62.5 m;ATR影像可達  1 m
  • 快速成像:以64 x  64 pixels掃描一次時間最快可低於6 sec (@8  cm-1)

分散式拉曼光譜儀(μ-Raman)

由拉曼頻譜解析材料的鍵結或結晶結構.  拉曼頻譜的偏移可以觀察應變力的改變.  拉曼頻譜的極性區別化合物的結晶方向.  拉曼頻譜的譜峰寬度區別結晶品質,  譜峰的強度可以作為定量分析的依據.  觀察螢光光譜分析摻雜與缺陷。共焦(confocal  microscope)顯微觀察系統,空間解析度 1μm(VIS光源)。可觀察巨大樣品及粉末,氣體與液體樣品。具備執行拉曼映像功能(mapping)。變溫量測(PL)4~1773K

規格說明

  • resolution range:5 ~ 6,000 cm-1
  • resolving power:FWHM≦  0.05cm-1
  • laser source :632.8 nm, per pixel
  • scanning range:可一次獲取任意波段範圍光譜,也可以同時獲得 stokes  及anti-stokes拉曼光譜光路所有鏡組適用光源,深紫外線至近紅外光雷射 (200~1,100 nm)  


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