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順序
研發成果名稱
計畫名稱
1
半導體GAA製程前段X光CD量測設備
半導體2 nm製程前段X光量測設備開發與驗證(1/1)
2
端點尺寸量測系統擴建
智慧機械產業智慧化線上計量標準建置計畫
3
SiC材料缺陷快速檢測技術
工研院創新前瞻計畫
4
無機物陰離子成分分析量測技術
國家度量衡標準實驗室運作與發展計畫
5
太陽光電案場自動化無人載具自動化熱異常擷取定位檢測技術
太陽光電發電設備高值化推廣服務計畫(1/3)
6
數位查證平台帶動產業減碳轉型