工業技術研究院

順序

研發成果名稱

計畫名稱

1

半導體GAA製程前段X光CD量測設備

半導體2 nm製程前段X光量測設備開發與驗證(1/1)

2

端點尺寸量測系統擴建

智慧機械產業智慧化線上計量標準建置計畫

3

SiC材料缺陷快速檢測技術

工研院創新前瞻計畫

4

無機物陰離子成分分析量測技術

國家度量衡標準實驗室運作與發展計畫

5

太陽光電案場自動化無人載具自動化熱異常擷取定位檢測技術

太陽光電發電設備高值化推廣服務計畫(1/3)

6

數位查證平台帶動產業減碳轉型

工研院創新前瞻計畫