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工業技術研究院

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【氫能減碳解決方案】半導體製程氣體粒子檢測技術

技術簡介

氣體交換裝置...(詳如圖說)
氣體交換裝置。

燃料氣體(氫氣、甲烷、天然氣)廣泛應用於燃料電池,但顆粒可能造成薄膜損耗降低電池壽命,但一般氣體粒子偵測器無防爆功能,工研院透過氣體交換裝置,可將爆炸性氣體進行置換為安全的氣體,供粒子計數器與冷凝式粒子計數器進行顆粒的量測,維持燃料氣體的供應品質,減少燃料氣體中的顆粒汙染,同時延長燃料電池的壽命,實現減碳效果。

應用範圍

  • 燃料氣體中顆粒汙染物量測
  • 可監控鋼瓶中顆粒數量變化趨勢
  • 可串接不同分析儀器進行顆粒成分與尺寸數量分析

減碳效益

  • 減少燃料氣體中顆粒汙染,增長燃料電池壽命
  • 燃料氣體之回收再利用時,提供快速檢測顆粒技術
  • 購過檢測技術提升燃料氣體之品質,優化產業供應鏈



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