技術簡介
電化學廢氫純化系統。
電化學氫氣純化是一種低能耗且氮氫混合氣分離效率高之純化技術，可有效純化處理半導體製程廢氫，純化氫氣不僅能整合燃料電池發電，更可經二階純化再導回EUV製程應用，達到淨零循環永續的產業發展。
應用範圍
利用用電化學達到分離純化效果，可提供廢氫純化處理量達5Nm3／h，且氫氣佔比60％氫氮混合氣進料之氫氣回收率達84%，可望加速半導體廢氫回收的應用拓展。未來可應用產業主要以半導體廢氫回收為主（如EUV廢氫尾氣回收純化）。
減碳效益
提高EHP系統之氫氣純化效能，藉以提升氫氣回收率，並降低其純化耗電量。預估每部EHP系統節電1.148GWh／年，可減少CO2排放量576公噸／年。