技術簡介
面板製程稀釋劑循環再利用工程設計。
面板廠製程中光阻稀釋劑廢液因含光阻劑與複雜的溶劑成分導致回收困難，目前委外處理的成本高且回收技術的性能有限。ITRI回收循環專利技術，簡化傳統純化單元且節能，可克服光阻劑堵塞問題，將溶劑回收純化至電子級，適用於光電半導體黃光製程稀釋劑、洗邊劑與剝離劑線上回收使用。目前已與群創、三新實業合作開發，透過提高再循環使用率和減少廢氣燃燒等，有助於實踐企業的社會責任（CSR）和循環減碳製造的目標。
應用範圍
- 彩色濾光片製程光阻稀釋／清洗廢液回收
- 光電半導體製程光阻稀釋／洗邊劑／清洗廢液回收
減碳效益
- 廠內回收，廢棄物減量，降低運輸風險
- 建立綠色製程技術，落實CSR與循環經濟
- 稀釋劑回收再利用減廢與效益，每年超過新台幣2億元
- 再循環使用率大於80％與減少20％廢氣燃燒，單產線減碳達1.2萬噸／年
面板製程稀釋劑循環再利用工程設計。