跳到主要內容區塊
:::
網站導覽
線上展示館
菁英招募
公告
English
工業技術研究院
尖端科技
尖端科技
智慧生活
個人化裝置與服務
自主移動系統
智慧產業及服務
智慧化致能技術
人工智慧技術
半導體晶片技術
通訊技術
資安與雲端技術
智慧感測
健康樂活
智慧醫療
健康照護
永續環境
循環經濟
智慧製造
綠能系統與環境科技
產業服務
產業服務
技術移轉
檢測服務
淨零排放服務
淨零排放服務
產業人才培訓
產業趨勢與情報
產業情報焦點
產業趨勢數據
開放實驗室與創業育成
開放實驗室
創業育成中心
業界合作
委託研究及產品開發
研發實驗室
產業聯盟
無形資產評價
國際合作
國際合作
合作案例
學研機構
國際企業
國合資源
合作夥伴
亞洲
美洲
歐洲
大洋洲
全球服務據點
國內服務據點
國外服務據點
新聞中心
新聞中心
新聞室
最新新聞
澄清說明
活動訊息
電子報
出版品
工業技術研究院年報
工業技術研究院簡介
工業技術與資訊月刊
機械工業雜誌
工業材料雜誌
電腦與通訊
精彩影音
智慧生活
健康樂活
永續環境
科技哪裡趣
一起撩科技
淨零永續新生活
其他
Podcast
淨零排放
淨零排放
淨零新知
政策法規
淨零聯盟
淨零趨勢
淨零案例
淨零服務
企業淨零方案服務
碳盤查與碳足跡
碳查證
淨零永續學校
智權法務
淨零永續對策與商機
淨零技術
需求使用
低碳製造
能源供給
環境永續
影音專區
減碳技術
人才培育
減碳新知
關於我們
關於我們
工研院簡介
簡介
歷屆董事長
歷屆院長
董監事會
經營團隊介紹
獲獎榮耀
工研院院士
院士名錄
院士授證
院士會議
院士設置辦法
社會公益
公益願景
科技應用
科技教育
企業志工
公益手冊
誠信經營
整合管理政策
輸入關鍵字
熱門搜尋:
:::
淨零排放
首頁
淨零排放
淨零技術
低碳製造
【資源循環】空氣淨化解方-國產化學濾網
Share to Facebook
Share to Twitter
分享到我的Line
聯絡我們
技術簡介
國產化學濾網。
建立全尺寸化學濾網性能測試平台與氣態分子汙染物(AMC)分析能力,提供半導體業者與濾網產業,開發高效率、低阻抗與長效型化學濾網技術。
堆疊式濾網可視需求彈性更換,降低成本、更換風險與廢棄物產生。
應用範圍
應用於半導體製程中,讓晶圓製造環境維持在高度潔淨(<1ppb),避免AMC造成良率下降。
技轉國內生產化學濾網廠商。
減碳效益
此濾材吸附容量比傳統多2倍,使濾材使用量減少一半。
以國內某高階12吋晶圓廠為例,廠內約有11.2萬台FFU搭載高效率低阻抗化學濾網,FFU風機耗電量約150W/台,每年以8760小時運轉計算,總耗電量為1.47億度電。若壓損降低30%,可減少約41%能耗,約可節電約0.6億度電,減碳約30,540噸CO2。