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【資源循環減碳解決方案】空氣淨化解方-國產化學濾網
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技術簡介
國產化學濾網。
建立全尺寸化學濾網性能測試平台與氣態分子汙染物(AMC)分析能力,提供半導體業者與濾網產業,開發高效率、低阻抗與長效型化學濾網技術。
堆疊式濾網可視需求彈性更換,降低成本、更換風險與廢棄物產生,同時達到減碳的效果。
應用範圍
應用於半導體製程中,讓晶圓製造環境維持在高度潔淨(<1ppb),避免AMC造成良率下降。
技轉國內生產化學濾網廠商。
減碳效益
此濾材吸附容量比傳統多2倍,使濾材使用量減少一半。
以國內某高階12吋晶圓廠為例,廠內約有11.2萬台FFU搭載高效率低阻抗化學濾網,FFU風機耗電量約150W/台,每年以8760小時運轉計算,總耗電量為1.47億度電。若壓損降低30%,可減少約41%能耗,約可節電約0.6億度電,減碳約30,540噸CO2。
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