工業技術研究院

技術簡介

• 建立全尺寸化學濾網性能測試平台與氣態分子汙染物（AMC）分析能力，提供半導體業者與濾網產業，開發高效率、低阻抗與長效型化學濾網技術。


• 堆疊式濾網可視需求彈性更換，降低成本、更換風險與廢棄物產生。

應用範圍

• 應用於半導體製程中，讓晶圓製造環境維持在高度潔淨（<1ppb），避免AMC造成良率下降。
• 技轉國內生產化學濾網廠商。

減碳效益

• 此濾材吸附容量比傳統多2倍，使濾材使用量減少一半。
• 以國內某高階12吋晶圓廠為例，廠內約有11.2萬台FFU搭載高效率低阻抗化學濾網，FFU風機耗電量約150W／台，每年以8760小時運轉計算，總耗電量為1.47億度電。若壓損降低30%，可減少約41%能耗，約可節電約0.6億度電，減碳約30,540噸CO2。