工業技術研究院

技術簡介

• 工研院創新研發專利「粉塵終結器」，透過微粒捕集系統（PCS），以水霧噴灑及雙層旋風分離沉降方式，讓PM2.5粉塵去除率達90%以上，平均效率增加50%，且無耗材、無化學刷洗，減少二次污染與浪費，透過降低粉塵排放量，實現低汙染且節電減碳的目標。


• 目前已技轉廠務系統服務廠商，也促成終端使用者尾氣處理系統升級。此專利技術入圍2022 R&D100。

應用範圍

• 半導體、光電顯示器廠，降低粉塵排放量，以達低汙染及節電環保。
• 應用相關製程之廢氣 / 微粒污染處理，如 : 化工廠、燃煤 / 氣電廠等高污染排放場域。

減碳效益

• 純機械裝置，無需額外電力作動捕集裝置（如電力靜電除塵）。
• 以環境空氣實驗量測為例
• 測試方法：雷射微粒計數
• 採用空氣微型粒子偵測器(右圖)計數檢測：
  • 國家實驗室檢驗校正合格
  • 顆粒物質量濃度一致性：> 90% for particle @0.5 μm
  • 取樣流量2.83 L/min
  • 獲得微粒捕集系統整體之PRE為90%