技術簡介
電容式微型壓力計。
本電容式壓力計技術具有低耗能、微型化與高輸出解析度之特色，以創新之絕對式壓力計結構與MEMS加工方法之專利設計（已獲證），配合低雜訊電容訊號處理與適應性溫度補償電路，使本產品技術具備智慧化校正與溫度補償之附加功能。
特色與創新
本技術具專利結構設計，且可依需求客製化壓力感測範圍。
技術特色
- 過載保護。
- 可依需求製作成絕對壓力式／相對壓力式。
- 內建參考電容。
技術規格
- Range: 30~110 kPa。
- Sensitivity: 1.5 mV/10 Pa。
- RMS noise: 1 Pa。
應用與效益
本技術可應用於手機／平板、穿戴式裝置、汽車導航、胎壓監測、安全監控、人員追蹤等。