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工業技術研究院

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半導體產業超重力場酸鹼洗滌除微粒技術

技術簡介

超重力場酸鹼洗滌除微粒技術乃藉高速旋轉(500-2,000 RPM),以產生超高離心力場環境,使流經旋轉床之洗滌液被撕裂成微米液膜及具有高速動能之液滴,氣液接觸面積大幅增加,並因形成之大量高速液滴與溶於水的酸鹼化合物和微粒發生劇烈碰撞,進而使這些水溶性物質液微粒能被快速且有效地移除。系統並配有洗滌水中自動排渣裝置,使水可以循環使用。

特色與創新

  • 微粒和水溶性有機物、酸鹼物質等可以同時進行捕捉,沒有因微粒累積堵住的風險。
  • 設備體積較傳統濕式洗塵器和靜電除塵器節省50%以上。
  • 操作彈性大,捕捉液可循環使用。即使在低濃度汙染物下,依然保持相當高的去除率。
  • PM2.5微粒去除率可達95%以上,PM10微粒去除率可接近100%。

應用與效益

  • 本技術應用在高科技產業含極細粒狀物、酸鹼物質和水性有機物之製程尾氣處理。
  • 面臨日益加嚴的環保法規,本技術可結合廠內洗滌塔系統,在空間有限的高科技廠,有效針對洗滌塔難處理的微粒汙染物提供解決方案。

A:超重力洗滌器本體...(詳如圖說)
A:超重力洗滌器本體、B:氣液分離器、C:氣體入口、D:氣體出口。