技術簡介
ppb級化學濾網性能測試平台。
臺灣的晶圓代工產業規模全球第一，隨著先進製程演進，製程環境ppb級氣態分子汙染物（AMC）之控制，成為提升半導體晶圓良率的關鍵，其中化學濾網技術是唯一的控制手段。
特色與創新
工研院建立國際唯一「ppb級化學濾網性能測試平台」，已成為國內半導體大廠唯一指定實驗室，主導國際測試標準（ASHRAE 145.2）性能規範制定，推動化學濾網高品質化。同時，藉由客製化測試條件突破研發瓶頸，成功協助國內化學濾網相關業者掛牌上櫃。
應用與效益
此技術具備獨特AMC量測、診斷與控制技術，提供全方位解決方案，強化國產化濾網品質與產業實力，使國產化學濾網市占率從零成長至70%，厚實國內半導體產業的微汙染控制能力，讓半導體先進製程良率大幅提升。