技術簡介
開發阻尼抑振單元,於滾珠軸承外圈設計阻尼襯套,讓流體流經襯套,藉由流體的阻尼,達到抑振的效果,並控制阻尼單元間隙、流體的流量、壓力,改變阻尼特性,達成降低振動的目的。
Abstract
The vibration damper is developed, a damping bushing is installed on the outside of a ball bearing, the fluid flows through the bushing, achieves damping effect through the fluid. The damping characteristics can also be regulated by controlling the gap of the damping unit, flow rate and pressure of the fluid.
技術規格
振動量降低至未安裝阻尼器時之70%
Technical Specification
spindle vibration reduce ~30% compare to spindle without damper
技術特色
開發阻尼抑振單元,於滾珠軸承外圈設計阻尼襯套,讓流體流經襯套,藉由流體的阻尼,達到抑振的效果,並控制阻尼單元間隙、流體的流量、壓力,改變阻尼特性,達成降低振動的目的。
應用範圍
高速滾珠研磨主軸
接受技術者具備基礎建議(設備)
無
接受技術者具備基礎建議(專業)
機械
聯絡資訊
聯絡人:徐紹煜 半導體設備技術組
電話:+886-3-5918658 或 Email:ShaoyuHsu@itri.org.tw
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