技術簡介
透過陶瓷材料雷射金屬化技術,發展內嵌式金屬電極並透過高介電臭氧電極封裝技術進行陶瓷接合,產生高濃度臭氧電極,其臭氧濃度可≧12%以上
Abstract
Using laser metallization technology for ceramic materials, we develop embedded metal electrodes, and use high-dielectric packaging materials to join ceramic electrodes to form high-concentration ozone electrodes, whose ozone concentration can be ≧12%
技術規格
高濃度臭氧電極特點:
●電極金屬電極面積占比≧83%
●採用無機材料進行陶瓷主體封裝
●高電壓可靠度測試(<5μA@8kV)
●臭氧產生率>12%
●燒機72小時,確認陶瓷封裝材料不黃化變色並產生有害之氣體
Technical Specification
Features of high concentration ozone electrode:
●Electrode metal electrode area ratio ≧83%
●Using inorganic materials for ceramic body packaging
●High voltage reliability test (<5μA@8kV)
●Ozone generation rate>12%
●Ceramic packaging material does not yellow, discolor and produce harmful gases after 72 hours burning test
技術特色
藉由陶瓷雷射圖案金屬化技術,將金屬電極鑲崁於陶瓷內部,透過研磨提高金屬電極平坦度,臭氧電極壓合後平整度≤ 10μm,並開發陶瓷封裝膠進行陶瓷接合,使其臭氧電極能承受電壓≧8kV以上、漏電流≤5μA、臭氧產生率≧12%之高濃度臭氧陶瓷電極
應用範圍
半導體臭氧產生器之關鍵零組件(臭氧電極)
接受技術者具備基礎建議(設備)
無
接受技術者具備基礎建議(專業)
化學、機械
聯絡資訊
聯絡人:高端環 半導體設備技術組
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客服專線:+886-800-45-8899
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