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工業技術研究院

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技術名稱: 高濃度臭氧電極技術

技術簡介

透過陶瓷材料雷射金屬化技術,發展內嵌式金屬電極並透過高介電臭氧電極封裝技術進行陶瓷接合,產生高濃度臭氧電極,其臭氧濃度可≧12%以上

Abstract

Using laser metallization technology for ceramic materials, we develop embedded metal electrodes, and use high-dielectric packaging materials to join ceramic electrodes to form high-concentration ozone electrodes, whose ozone concentration can be ≧12%

技術規格

高濃度臭氧電極特點: ●電極金屬電極面積占比≧83% ●採用無機材料進行陶瓷主體封裝 ●高電壓可靠度測試(<5μA@8kV) ●臭氧產生率>12% ●燒機72小時,確認陶瓷封裝材料不黃化變色並產生有害之氣體

Technical Specification

Features of high concentration ozone electrode: ●Electrode metal electrode area ratio ≧83% ●Using inorganic materials for ceramic body packaging ●High voltage reliability test (<5μA@8kV) ●Ozone generation rate>12% ●Ceramic packaging material does not yellow, discolor and produce harmful gases after 72 hours burning test

技術特色

藉由陶瓷雷射圖案金屬化技術,將金屬電極鑲崁於陶瓷內部,透過研磨提高金屬電極平坦度,臭氧電極壓合後平整度≤ 10μm,並開發陶瓷封裝膠進行陶瓷接合,使其臭氧電極能承受電壓≧8kV以上、漏電流≤5μA、臭氧產生率≧12%之高濃度臭氧陶瓷電極

應用範圍

半導體臭氧產生器之關鍵零組件(臭氧電極)

接受技術者具備基礎建議(設備)

接受技術者具備基礎建議(專業)

化學、機械

技術分類 光電與半導體製程設備

聯絡資訊

聯絡人:高端環 半導體設備技術組

電話:+886-3-5915838 或 Email:thkao@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-3-5820043