工業技術研究院

技術簡介

可藉由電控系統調整雙脈衝的時間差以及各別脈衝的脈衝寬度，其調整範圍都能達到10~100 ns。使用繞射光學元件的轉換效率也有80 ％以上

Abstract

The time difference of the double pulses and the pulse width of each pulse can be adjusted through the electronic control system, and the adjustment range can reach 10~100 ns. The conversion efficiency using diffractive optical elements is also more than 80 ％

技術規格

(a)雙脈衝延遲時間：10～100 ns；(b)脈衝寬度：10～100 ns ;(c)DOE能量轉換效率≧80％ ；(d)平頂均勻性：±10％

Technical Specification

(a)Double pulse delay time: 10～100 ns;(b)Pulse width: 10～100 ns; (c)DOE energy conversion efficiency ≧80％;(d)Flat top uniformity: ±10％

技術特色

在一台雷射系統中利用雙種子光源加上電控設計做出脈衝整型(時間域)與利用繞射光學元件做出光束整型(空間域)

應用範圍

精微雷射加工、半導體元件加工

接受技術者具備基礎建議（設備）

奈秒雷射源 光束整形模組 精密線性平台

接受技術者具備基礎建議（專業）

光學、雷射製程、機械、控制

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