『您的瀏覽器不支援JavaScript功能,若網頁功能無法正常使用時,請開啟瀏覽器JavaScript狀態』

跳到主要內容區塊

工業技術研究院

:::

技術名稱: 薄膜材料應力分析優化模組

技術簡介

透過薄膜材料應力分析模組,能夠預測不同條件下的薄膜翹曲量,避免薄膜應力過大,減少產品不良率發生

Abstract

Predict the amount of film warpage under different conditions to avoid excessive film stress and reduce the occurrence of product defects.

技術規格

進行不同製程參數下薄膜的應力預測,其值誤差<10%

Technical Specification

Predict the stress of the film under different process parameters, and the value error is <10%.

技術特色

進行不同製程參數下薄膜的應力預測,減少產品不良率發生

應用範圍

半導體及光電薄膜設備

接受技術者具備基礎建議(設備)

個人電腦

接受技術者具備基礎建議(專業)

1.具基礎熱流、化學與固分析相關知識 2.軟體撰寫 3.系統整合測試

技術分類 精密機械

聯絡資訊

聯絡人:黃智勇 半導體設備技術組

電話:+886-3-5916695 或 Email:huangcy@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-3-5910350