工業技術研究院

技術簡介

本技術所開發的陶瓷臭氧電極是使用高介電强度氧化鋁陶瓷作為電極基板，利用工研院開發的「陶瓷雷射誘發3D金屬線路製作技術」讓金屬電極可以嵌埋於陶瓷內部達到共平面的目的，再搭配工研院開發的「高硬度結構膠」將電極模組進行壓合組裝，不僅可以有效提高組裝強度減少側面漏電以及裂片之風險，更可以大幅提升金屬電極面積，有效提昇臭氧產生濃度，協助業者發展國內自主之陶瓷電極模組。

Abstract

The ceramic ozone electrode developed by this technology utilizes high-dielectric-strength alumina ceramics as the electrode substrate. Through the Industrial Technology Research Institute’s (ITRI) innovative "Ceramic Laser-Induced 3D Metal Circuit Fabrication Technology," the metal electrodes are embedded within the ceramic to achieve a coplanar structure. Combined with ITRI’s "High-Hardness Structural Adhesive" for press-fit assembly of the electrode module, this design not only significantly enhances assembly strength and reduces risks of side leakage and cracking but also greatly increases the surface area of the metal electrodes. This effectively boosts ozone production concentration, supporting domestic industries in developing independent ceramic electrode modules.

技術規格

1. 臭氧濃度 ＞11％ ，並可降低機台12.5％的能量消耗 2. 可耐8kV以上之高電壓 3. 可耐組裝壓力1400 kg"

Technical Specification

1. Ozone concentration ＞11％, and can reduce energy consumption of the machine by 12.5％ 2. Withstand voltage of over 8kV 3. Withstand assembly pressure of 1400 kg

技術特色

透過工研院自主研發的技術，使電極面積得以從 65％提升至81.07％，在臭氧產生器2 slm的流速下，臭氧濃度可達10.8％以上，並降低機台12.5％的能量消耗，有效提升臭氧產生的效率。預估全台灣至少有1000台臭氧產生器應用於半導體相關製程包括：ALD、CVD、去光阻、清洗等製程，預估節能可達5308.875噸CO2e/年

應用範圍

1. 需要高濃度臭氧的半導體相關製程，例如ALD、清洗、去光阻等

接受技術者具備基礎建議（設備）

"1. 雷射加工機 2. 化學鍍產線 3. 電鍍產線 4. 高溫反應爐"

接受技術者具備基礎建議（專業）

雷射、化工、機械、模擬

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