工業技術研究院

技術簡介

透過潔淨室內負載變化，根據外氣溫、濕度，室內溫、濕度以及人員活動等因素進行即時調整冰水閥門的開度。以維持冰水出、回水溫差，以減少製冷需求，從而節省電力。

Abstract

Through changes in the cleanroom’s internal load, the opening of the chilled water valve is adjusted in real-time based on factors such as outdoor temperature, humidity, indoor temperature, humidity, and personnel activity. This is done to maintain the temperature difference between the chilled water supply and return, reducing cooling demand and thereby saving electricity.

技術規格

透過收集現場實際測量的數據，包括FFU（Fan Filter Unit）的風速、潔淨室內的溫度、濕度、機台熱源以及環境壓力等關鍵參數，預測式負載與控制模型準確率80％。

Technical Specification

Through the collection of real-time measured data, including key parameters such as fan speed of Fan Filter Units (FFUs), temperature, humidity, machine heat sources, and environmental pressure in the clean room, the accuracy of predictive loading and control models can reach 80％.

技術特色

可實時監測數據、歷史運行數據以及外部影響因素等，使其能夠更好地捕捉潔淨室負載的變化趨勢。實現冰水閥控制在空調系統中的更高效、更智能化操作。

應用範圍

半導體與電子產業、光電與顯示器產業

接受技術者具備基礎建議（設備）

軟體:預測式負載與控制模型 硬體: 廠務設備控制模組、高效運算電腦"

接受技術者具備基礎建議（專業）

需具熟悉廠務設備及電控經驗之開發人員

聯絡資訊