工業技術研究院

技術簡介

EtherCAT全數位先進移載平台控制技術，以硬即時特性之工控網路封包，透過乙太網路與EtherCAT從站進行資料交換。建立高速高解析細插分技術以及硬體高速位置比較觸發技術，具有即時性運動控制能力，實現即時觸發外部裝置，以滿足半導體製造與量測同步性。

Abstract

The EtherCAT servo stamping control technology is based on industrial control network packet with hard real-time characteristics. It exchanges data between EtherCAT master and EtherCAT slaves by transmitting frames across the network. Develop high-speed, high-resolution fine interpolation technology and hardware-based high-speed position comparison triggering technology, equipped with real-time motion control capabilities. This enables real-time triggering of external devices to meet the synchronization requirements of semiconductor manufacturing and measurement.

技術規格

定位精度100μm、位置解析度1nm、最大位置細差分率8192、最大位置比較觸發輸出頻率18MHz、最大位置擷取緩衝8194筆

Technical Specification

Position Accuracy 100μm、Position Resolution 1nm Max Position Interpolation rate 8192、Max Position Compare Trigger Frequency 18MHz、Max Position Latch Buffer 8194

技術特色

國內先進移載平台控制技術大多開發為定位精度為1μm之移載單元，EtherCAT全數位先進移載平台控制技術開發定位精度100nm之移載單元，並且整合高速高解析細插分技術以及硬體高速位置比較觸發技術，藉此拓展設備的擴充性與整合性。

應用範圍

半導體產業、精密機械產業、自動化控制產業

接受技術者具備基礎建議（設備）

EtherCAT全數位運動控制平台、MCCL(Motion Control Command Library)運動控制函式庫

接受技術者具備基礎建議（專業）

需具備有電控與機械經驗之開發人員

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