工業技術研究院

技術簡介

微振動抗噪量測技術致力於協助振動量測正常進行，特別是如氣靜壓軸承平台這種運作時需平穩運行之設備，需要維持振動數值在很小的範圍。振動量測要求越精細，越容易受到周圍電雜訊之影響，本技術結合可調式振動抗噪電路，可依據需求屏蔽不同波段之雜訊，使振動訊號維持乾淨不受外部雜訊干擾，協助振動量測執行，提升監控系統的可靠性。

Abstract

The micro-vibration anti-noise measurement technology is dedicated to ensuring the proper functioning of vibration measurement, particularly for equipment like aerostatic bearing platforms, which require stable operation with minimal vibration levels. The higher the precision required for vibration measurement, the more susceptible it is to surrounding electrical noise. This technology integrates adjustable vibration anti-noise circuits, capable of filtering out noise across different frequency bands as needed. It ensures clean and interference-free vibration signals, facilitates accurate vibration measurements, and enhances the reliability of monitoring systems.

技術規格

微振動抗噪量測模組，振動寬頻解析達110-5g以下

Technical Specification

Micro-Vibration Anti-Noise Measurement Module Vibration broadband resolution reaches below 1×10⁻⁵g.

技術特色

振動量測通常架設以DAQ作為設備供電來源，但時常遇到供電不穩情形，本技術除針對訊號進行抗噪外，額外提供外部電源之穩壓電路供給感測器，可最大化減低外部影響，且使用者不須改動原設備，僅需要增加一條BNC線與電源即可應用。

應用範圍

半導體製程產業、精密機械產業、自動化控制產業

接受技術者具備基礎建議（設備）

加速規、DAQ

接受技術者具備基礎建議（專業）

需具備有電控與機械經驗之開發人員

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