工業技術研究院

技術簡介

高科技產業通常須於製程機台後端裝設現址式處理設備(Local Scrubber, LSC)，主要是用於削減去除製程尾氣。評估LSC削減率可協助企業驗證與優化LSC、計算碳排放量、作為符合法規之證明。本報告內容包括移轉及使用此技術所需之儀器設備、檢測流程及複雜光譜解析方法…等，可協助相關人員了解及應用。

Abstract

The high-tech industry typically requires the installation of on-site abatement equipment, known as Local Scrubber (LSC), at the backend of process tool. Evaluating the destruction and removal efficiency (DRE) of LSC helps companies verify and optimize their LSC, calculate carbon emissions, and serve as proof of compliance with regulations. This report aims to transfer the technology to personnel involved in DRE testing, equipping them to operate instruments, follow testing procedures, and apply spectral analysis effectively.

技術規格

可現場評估LSC削減率(一小時內)，使企業人員能即時驗證與優化LSC性能。

Technical Specification

The DRE of LSC can be evaluated on-site (within an hour), enabling enterprise personnel to immediately verify and optimize LSC performance.

技術特色

本團隊開發LSC削減率評估技術，過往二十多年應用此技術所產出的檢測資料已提供給各企業當作第三方公正單位出具之認可報告。

應用範圍

可應用於評估不同型式LSC之削減率，包含燃燒式、電漿式、電熱式、吸附式、水洗式…等

接受技術者具備基礎建議（設備）

傅立葉轉換紅外光譜儀(FTIR)

接受技術者具備基礎建議（專業）

化學、化工、環工背景…等

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