工業技術研究院

技術簡介

本技術結合生成式AI，建立研磨液模擬數位雙生平台，模擬研磨液為異質粒子狀態的物理運動特性。 技術透過AI生成模型(U-net)，提取目標模擬研磨液影像特徵，並生成適用於Omniverse的流體模擬參數，以實際研磨液的液體與固體混合成分為基礎，模擬研磨液在異質粒子狀態下的物理運動特性，模擬影像與實際訓練影像的相近度約80％以上 (以Gradient Magnitude Similarity Deviation進行評估)。

Abstract

This technology uses AI-generated models (U-net) to extract features from target simulated slurry images and generate fluid simulation parameters suitable for Omniverse. Based on the liquid and solid mixing components of actual slurry, it simulates the physical movement characteristics of slurry in heterogeneous particle states. The similarity between the simulated images and actual images is about 80％ (evaluated by Gradient Magnitude Similarity Deviation).

技術規格

建立研磨液模擬數位雙生平台，模擬研磨液影像與實際影像相近度達83~89％(GMSD: 0.169~0.107)。

Technical Specification

Establish a digital twin platform for slurry simulation, achieving an image similarity of 83-89％ between simulated slurry images and actual images.

技術特色

透過數位雙生技術結合AI生成模型，模擬研磨液的物理特性與侷限空間內的 3D運動狀態，開發出以多粒子為基礎的模擬平台，藉以在半導體參數調整過程中，提升製程穩定性、降低標準差與控制誤差。 透過多粒子方式進行研磨液的模擬，包含液態與研磨顆粒，雙粒子模擬更貼近實際情形。

應用範圍

半導體製造、電子封裝與高附加價值產業

接受技術者具備基礎建議（設備）

個人電腦

接受技術者具備基礎建議（專業）

軟體設計能力

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