工業技術研究院

技術簡介

電化學蝕刻停止技術是為以電化學濕蝕刻方式製作精確的懸膜厚度結構。

Abstract

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技術規格

懸膜厚度尺寸變化在 ±1μm。

Technical Specification

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技術特色

濕法微細加工。

應用範圍

以濕蝕刻方式製作精確的懸膜厚度結構時，最常用到，如壓力感測器、加速度計與微流量感測器等。

接受技術者具備基礎建議（設備）

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接受技術者具備基礎建議（專業）

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