技術簡介
藉由製備特定濃度之有機污染物，使吸附於晶圓表面，建立有機污染物之檢量線與檢測技術
Abstract
none
技術規格
完成Trinton-X-100 1 ppm及50 ppm的檢量線
Technical Specification
none
技術特色
當積體電路進入奈米之領域時，所衍生的新的有機污染問題就更加明顯與重要，除了要改良舊式同時亦要發展新式清洗方式，而利用晶圓表面有機污染檢測技術則可以用來檢測清洗的效率。
應用範圍
半導體製造業，TFT-LCD等平面顯示器產業，生物晶片製造業等高科技周邊設備製造業等。
接受技術者具備基礎建議（設備）
需具備無塵室環境，並設有抽器與廢氣排放管線設備與超純水供應等。
接受技術者具備基礎建議（專業）
需具備無塵室操作經驗，以及具有微污染概念者。
聯絡資訊
聯絡人：徐靜怡 水利產業技術組
電話：+886-3-5917703 或 Email：hhtr@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
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