工業技術研究院

技術簡介

一種利用微波產生電漿、解離氣體來合成CNTs的設備開發，主要技術內容為1.微波電漿共振腔體的設計及建立電磁場形模擬技術；2.微波電漿合成系統製作；3.電子迴旋共振腔(ELR)及負偏壓系統設計製作。

Abstract

none

技術規格

2.45GHz 2kw微波電漿CVD。

Technical Specification

none

技術特色

1.國內廠商目前無此技術。 2.國外廠商ASTeX有生產但價格昂貴。

應用範圍

適用於鑽石薄膜、類鑽石薄膜及奈米碳管成長製程研發。

接受技術者具備基礎建議（設備）

具有表面薄膜沉積處理設備製作經驗之廠商。

接受技術者具備基礎建議（專業）

基礎化學及微波工程具有基本知識之廠商。

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